Varian TV 301 Navigator 969-8824 Ohjekirja
- Tyyppi
- Ohjekirja
TV 301
Navigator
Pump models:
969-8918 969-8919
969-8920 969-8921
Kit models:
969-8824 969-8825
969-8826 969-8827
969-8828 969-8829
969-8830 969-8831
Controller model:
969-8972 969-8973
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-946-01(B)
MARCH 2003
TV 301 Navigator
ISTRUZIONI PER L’USO..............................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG...........................................................................................................................3
MODE D’EMPLOI.........................................................................................................................................5
INSTRUCCIONES DE USO..........................................................................................................................7
INSTRUÇÕES PARA O USO .......................................................................................................................9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN ......................................................................................................................11
BRUGSANVISNING ...................................................................................................................................13
BRUKSANVISNING....................................................................................................................................15
BRUKERVEILEDNING ...............................................................................................................................17
KÄYTTÖOHJEET.......................................................................................................................................19
PDHGIES CRHSEWS .....................................................................................................................................21
INSTRUCTIONS FOR USE ........................................................................................................................23
TECHNICAL INFORMATION......................................................................................................................25
DESCRIPTION OF THE TV 301 NAVIGATOR .......................................................................25
Pump Description..........................................................................................................25
Controller Description....................................................................................................26
TECHNICAL SPECIFICATION................................................................................................26
TV 301 NAVIGATOR OUTLINE ..............................................................................................27
INTERCONNECTIONS...........................................................................................................30
P3 - Vent.......................................................................................................................30
P4 – External fan ..........................................................................................................30
J5 - IN-OUT ..................................................................................................................30
P2 - Serial.....................................................................................................................33
INPUT POWER CONNECTION ON THE MODEL 969-8972...................................................33
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION...............................................................33
Communication Format.................................................................................................33
Communication Protocol ...............................................................................................33
Window Meanings.........................................................................................................35
INLET SCREEN INSTALLATION............................................................................................36
HEATER BAND INSTALLATION ............................................................................................37
AIR COOLING KIT INSTALLATION........................................................................................38
TV 301 with Navigator Controller...................................................................................38
WATER COOLING KIT INSTALLATION.................................................................................39
VENT ACCESSORIES............................................................................................................40
TV 301 Navigator Controller Compatible .......................................................................40
Standard Rack Controller Compatible ...........................................................................40
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION................................................................................41
PURGE VALVE INSTALLATION.............................................................................................41
SERIAL CABLE INSTALLATION ............................................................................................42
TV 301 CONTROLLER INSTALLATION .................................................................................42
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM ................................................................................................43
With Navigator Controller..............................................................................................43
With Standard Rack Controller......................................................................................44
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .....................................................................44
Connection configurations .............................................................................................45
Connection B - FORE-VACUUM PUMP ........................................................................45
Connection C - ELECTRICAL........................................................................................45
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .............................................................................46
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ...........................................................47
ACCESSORIES AND SPARE PARTS ....................................................................................47
ISTRUZIONI PER L'USO
1 87-900-946-01(B)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore
deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra
informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'ap-
parecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità
dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso impro-
prio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o
ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Il TV 301 Navigator è un sistema integrato costituito da una pom-
pa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal
relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di
gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di
liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad eleva-
ta velocità (56000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico tri-
fase ad alto rendimento. Il TV 301 Navigator è totalmente privo di
agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richie-
dono un vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile alimen-
tare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent, pilotar-
lo da remoto tramite un computer host collegato con linea seriale
(RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessa-
rie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'ap-
parecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice
“Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che,
se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe
Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le seguenti prescri-
zioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti condi-
zioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare
è di 10 mesi dalla data di spedizione.
!
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe-
riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio-
ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il TV 301 Navigator viene fornito in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare atten-
zione a non lasciar cadere il TV 301 Navigator e a non sottoporlo
ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente.
Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva
CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
!
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani
nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare
sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
Il TV 301 Navigator non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul
sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in am-
bienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le se-
guenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico
nell’appendice “Technical Information”)
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere pro-
tetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli.
!
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-
mento del collegamento della turbopompa al sistema.
ISTRUZIONI PER L'USO
2 87-900-946-01(B)
Il TV 301 Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria (ve-
dere schema in "Technical Information").
Il TV 301 Navigator può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare
il TV 301 Navigator in posizione stabile collegando la flangia di ingresso
della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una
coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singo-
li. La seguente tabella descrive, per ogni dimensione flangia e tipo
di morsetto, il numero di morsetti necessari e con quale coppia di
serraggio stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO
N. COPPIA DI SER-
RAGGIO
ISO 100 Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M8
8 11 Nm
ISO 160 Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M10
8 22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla
camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica Varian.
Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information".
NOTA
Il TV 301 Navigator non può essere fissato tramite la sua base.
!
ATTENZIONE!
Il TV 301 Navigator appartiene alla seconda categoria di installa-
zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.
Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che
soddisfi tale categoria.
Il TV 301 Navigator ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per
la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti
esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso al TV 301
Navigator abbia un isolamento adeguato anche in condizione di
guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Informa-
tion".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
!
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le ope-
razioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle
persone.
!
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quan-
do è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte e-
sente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso
l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione
atmosferica).
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una
apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un
flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere
l'appendice "Technical Information").
!
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici,
infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche
di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Accensione ed Uso del TV 301 Navigator
Per accendere il TV 301 Navigator è sufficiente fornire la tensione di
alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la
presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start” che,
al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente, per cui
tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il modo “Soft
Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start” attivo occorre ria-
bilitare il modo suddetto tramite software (vedere il paragrafo “RS
232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” nell’appendice
“Technical Information”).
Il LED verde posto sul pannello della base del TV 301 Navigator
indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative
del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema
è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “W aiting for in-
terlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condi-
zione di errore.
Arresto del TV 301 Navigator
Per arrestare il TV 301 Navigator è sufficiente togliere la tensione
di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente
la pompa.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 301 Navigator oc-
corre staccare il cavo di alimentazione dal controller.
MANUTENZIONE
Il TV 301 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi inter-
vento deve essere eseguito da personale autorizzato.
!
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita
valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere
che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione
Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di
ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o a-
dvanced exchange service, è indispensabile compilare e far per-
venire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute"
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa de-
ve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-946-01(B)
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor
dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teil-
weiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemä-
ßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Ein-
griffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen über-
nimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Modell TV 301 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer
Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-
anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller,
besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von
Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förde-
rung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird
durch eine hochtourige Turbine (max. 56000 1/min) erreicht, die
von einem Hochleistungs-drehstrommotor angetrieben wird. Mo-
dell TV 301 Navigator enthält keinerlei umweltschädliche Sub-
stanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein
"sauberes" Vakuum erfordern. Modell TV 301 Navigator verfügt
des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die ein zusätzlicher
Ventilator versorgt, das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vor-
richtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung
gesteuert werden kann (RS232, RS485).
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informatio-
nen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners
auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die
bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen
könnten.
!
ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text
hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Tur-
bomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisun-
gen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einlage-
rung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht ü-
berschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genann-
te Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurück-
zusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtli-
chen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell TV 301 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpa-
ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständi-
gen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 301 Navigator
ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und
vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsma-
terial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist vollständig recyc-
lebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umwelt-
schutz.
!
ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Modell TV 301 Navigator kann durch die Umgebung an sich kei-
ne Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der
Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub
zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter
(Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind,
sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährde-
ten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten
werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An-
hang "Technical Information")
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe
entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im
Anhang "Technical Information".
!
ACHTUNG!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei
Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-946-01(B)
Modell TV 301 Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschließen
(siehe Schema in "Technical Information").
Modell TV 301 Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell TV 301 Navigator ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch
angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000 Nm um
seine eigene Achse belastbar ist. Turbopumpen mit einem
ISO-Eingangsflansch sind mittels doppelter oder einfacher Klemm-
schellen an die Vakuumkammer anzuschließen. In der nachstehenden
Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment
für die jeweiligen Flanschgrößen und Schellenarten angegeben.
FLANSCH
KLEMMSCHELLE
ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 100 Doppelschelle mit
Gewinde M10
4 22 Nm
Einzelschelle mit
Gewinde M8
8 11 Nm
ISO 160 Doppelschelle mit
Gewinde M10
4 22 Nm
Einzelschelle mit
Gewinde M10
8 22 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem speziel-
len Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzu-
schließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang
"Technical Information".
HINWEIS
Modell TV 301 Navigator kann nicht mittels seines Sockels befes-
tigt werden.
!
ACHTUNG!
Der TV 301 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü-
berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die
Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen
werden, die dieser Kategorie entspricht.
Der TV 301 Navigator hat Verbinder für den Ein-und Ausgang
und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise
angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung
zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an den TV
301 Navigator angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Ein-
zelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN
61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und
pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuel-
len Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Ein-
gangsflansch 120°C nicht überschreiten.
!
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuel-
le heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungs-
gefahr.
!
ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager
beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie Luft
oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftung-
sanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betra-
gen.
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer
Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas
(Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Infor-
mation").
!
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen
Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 301
Navigator
Zur Einschaltung von Modell TV 301 ist es mit der erforderlichen
Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller
erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlauf-
signalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft Start",
der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet. Daher
erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den Modus
"Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start" zu star-
ten, ist dieser Modus mittels der Software wieder freizugeben
(siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION"
im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 301 gibt mit der
Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 301 Navigator
Zum Stoppen von Modell TV 301 Navigator ist die Versorgungs-
spannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den
sofortigen Pumpenstopp.
Not-Aus
Zur Stillsetzung von Mod. TV 301 Navigator in Notsituationen ist
vom Controller das Netzkabel abzuziehen.
WARTUNG
Modell TV 301 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe
dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe
über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten,
bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pum-
pengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein gene-
ralüberholtes System als Ersatz für das defekte System zur Ver-
fügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Umtausch-
dienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und Gesund-
heit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche
Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des
Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlä-
gigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
MODE D’EMPLOI
5 87-900-946-01(B)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profession-
nelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisa-
teur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute
autre indication supplémentaire fournie par Varian qui décline par
conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou
partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un
personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi
contraire aux réglementations nationales spécifiques. Le TV 301
Navigator est un système intégré, constitué d'une pompe turbo-
moléculaire conçue pour des applications de vide poussé et ultra-
poussé et doté d'un contrôleur. Le système est à même de pom-
per tous les types de gaz et de composés gazeux mais il n'est pas
adapté au pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de
pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée
(56000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut
rendement. Le TV 301 Navigator est totalement exempt d'agents
polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applica-
tions exigeant un vide "propre". Le TV 301 Navigator est en outre
doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventila-
teur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de
le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par
ligne sérielle.Les paragraphes suivants fournissent toutes les
indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pen-
dant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détail-
lés se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
!
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une
procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon
impropre, risque de provoquer de graves lésions
!
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédu-
res dont le non respect pourrait endommager sérieusement l'ap-
pareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo-
lés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pom-
pes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les
instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doi-
vent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes
suivantes:
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doi-
vent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de
10 mois à compter de la date d'expédition.
!
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être
retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le repré-
sentant Varian de zone.
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
Le TV 301 Navigator est livré dans un emballage de protection spécial;
en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pen-
dant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particu-
lièrement à ne pas laisser tomber le TV 301 Navigator et à ne lui
faire subir aucun choc et aucune vibration.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 en
matière de protection de l'environnement.
!
ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains
nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours
des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
Le TV 301 ne peut s'endommager en restant simplement exposé
à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la
poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage clos
jusqu'au moment de l'installation.
INSTALLATION
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés
aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux
gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque
d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans "Techni-
cal Information")
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être proté-
gée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement,
se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 301 Navi-
gator doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans
"Technical Information").
!
ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au
moment de brancher la turbopompe au système.
MODE D’EMPLOI
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Le TV 301 Navigator peut être installée dans n'importe quelle
position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'en-
trée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter
un couple de serrage de 1000 Nm autour de son axe. La turbo-
pompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à
l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant décrit,
pour chaque dimension de bride et pour chaque type de collier, le
nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage
prescrit.
BRIDE TYPE DE
COLLIER
N. COUPLE DE
SERRAGE
ISO 100 Collier double
à filet M10
4 22 Nm
Collier simple
à filet M8
8 11 Nm
ISO 160 Collier double
à filet M10
4 22 Nm
Collier simple
à filet M10
8 22 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la cham-
bre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet
effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical
Information".
NOTE
Le TV 301 Navigator ne peut être fixé par sa base.
!
ATTENTION!
Le TV 301 Navigator appartient à la deuxième catégorie d'installa-
tions (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait,
brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec
cette catégorie.
Le TV 301 Navigator dispose de connecteurs pour les en-
trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être
branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous
tension ne soit accessible.
S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 301 Naviga-
tor a une isolation appropriée même en condition de panne indivi-
duelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Tech-
nical Information".
UTILIZATION
Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements élec-
triques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas
dépasser 120°C.
!
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas
reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride
de fermeture.
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éven-
tuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée
peut être à l'origine de lésions graves.
!
ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou dé-
placement brusque car les paliers pourraient se détériorer.
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz
inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée
à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar (au-
delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées d'une
porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la
pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les
paliers (voir l'appendice "Technical Information").
!
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques,
inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de
chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator
Pour allumer le TV 301 Navigator il suffit de fournir la tension d'alimen-
tation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence
de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft Start".
Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive automatique-
ment et les mises en marche suivantes se font sans le passage "Soft
Start". Pour obtenir à nouveau une mise en marche "Soft Start", il faut
réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf. paragraphe
"RS232 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans l'appendice
"Technical Information").
La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 301
indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opéra-
tionnelles du système:
- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en
état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.
- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition d'erreur.
Arrêt du TV 301 Navigator
Pour arrêter le TV 301 Navigator, il suffit de retirer la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la
pompe.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le TV 301 Navigator en conditions d'urgence, il faut
débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.
ENTRETIEN
Le TV 301 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
!
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, atten-
dre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la tempéra-
ture superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répara-
tions Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui per-
met d'obtenir un système régénéré en remplacement du système
endommagé.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation
ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au
bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe
au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra
être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales concernant la ges-
tion des déchets.
INSTRUCCIONES DE USO
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INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente
el presente manual de instrucciones y cualquier otra información
suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se
considera libre de posibles responsabilidades debidas al
incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por
parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un
uso contrario a las normas nacionales específicas.
El TV 301 Navigator es un sistema integrado compuesto por una
bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío
integrada por el controler correspondiente. El sistema puede bombear
cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es adecuado
para bombear líquidos o partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta
velocidad (56000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de
alto rendimiento. El TV 301 Navigator no posee ningún agente
contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que
requieren un vacío’ “limpio”.
Asimismo, el TV 301 Navigator posee conectores auxiliares con los
que se puede alimentar un ventilador adicional, accionar la válvula de
ventilación, pilotarla a distancia con un ordenador host conectado
mediante línea serial (RS 232/RS 485).
A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar
la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical
Information” se facilita información más detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
!
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
!
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al
aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de
las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
!
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al
fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega
contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El TV 301 Navigator se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de
ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga el TV 301 Navigator y de no someterlo a golpes o vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la
preservación del medio ambiente.
!
¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos
desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío.
Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
El TV 301 Navigator no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el
sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
INSTALACIÓN
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes
atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en
lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo
“Technical Information” para más detalles.
El TV 301 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria
(véase diagrama en “Technical Information”).
El TV 301 Navigator puede instalarse en cualquier posición. Fijar
!
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al
conectar la bomba al sistema.
INSTRUCCIONES DE USO
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el TV 301 Navigator en posición estable conectando la brida de
entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir
a un par de 1000 Nm alrededor de su eje. La turbobomba con
brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara de vacío mediante
mordazas dobles o mordazas sencillas. La tabla siguiente
describe, por cada dimensión de la brida y tipo de mordaza, el
número de mordazas necesarias y con qué par de apriete
apretarlas.
BRIDA TIPO DE
MORDAZA
N. PAR DE
APRIETE
ISO 100 Mordaza doble con
rosca M10
4 22 Nm
Mordaza sencilla con
rosca M8
8 11 Nm
ISO 160 Mordaza doble con
rosca M10
4 22 Nm
Mordaza sencilla con
rosca M10
8 22 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos
Varian. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.
NOTA
El TV 301 Navigator no puede fijarse utilizando su base.
!
¡ATENCIÓN!
El TV 301 Navigator pertenece a la segunda categoría de
instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1.
Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de
alimentación adecuada para dicha categoría.
El TV 301 Navigator tiene conectores para las entradas/salidas y
para la comunicación serial que deben ser conectados a los
circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión
quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo
conectado al TV 301 Navigator mantenga una acción aisladora
incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con lo
establecido por la normativa EN 61010-1.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical Information”.
USO
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de
entrada no ha de ser superior a 120ºC.
!
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está
conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar
lesiones a las personas.
!
¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o
partículas. La presión de entrada a través de la puerta deberá ser
inferior a 2 bar (por encima de la presión atmosférica).
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una
puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba
un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los
rodamientos (véase el anexo “Technical Information”).
!
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados
típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya gases
explosivos.
Encendido y Uso del TV 301 Navigator
Para encender el TV 301 Navigator basta con suministrar la
tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de
arranque y activa la bomba.
La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft Start”
que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita
automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en
marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a
utilizar una puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario
rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software
(véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION”
en el anexo “Technical Information”).
El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 301
indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones
operativas del sistema:
- encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
- parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el
sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de
“waiting for iterlock” ;
- parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente):
condición de error.
Parada del TV 301 Navigator
Para parar el TV 301 Navigator nte con desenchufarlo de la corriente.
El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba.
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el TV 301 Navigator es
necesario desconectar del controlador el cable de alimentación.
MANTENIMIENTO
El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier
operación deberá ser realizada por personal autorizado.
!
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo
de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula
oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y
esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior
a 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite
obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o
“advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar y
remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y Salud”
adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la
misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de
enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
INSTRUÇÕES DE USO
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INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler
atentamente o presente manual de instruções e todas as informações
adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem. A
Varian não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das
instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
O TV 301 Navigator é um sistema integrado, constituído por uma
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo,
integrada no relativo controller.
O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de
composto gasoso, mas não é adequado para bombear líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta
velocidade (56000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico
trifásico de alto rendimento. O TV 301 Navigator é totalmente
isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para
aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, o TV 301 Navigator tem conectores auxiliares através
dos quais é possível alimentar um ventilador adicional, comandar
a válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto através de
um computer host conectado por meio de linhas seriais (RS
232/RS 485). Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as
informações necessárias para garantir a segurança do operador
durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são
fornecidas no apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
!
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um
procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada
correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.
!
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das
bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as
seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das
bombas as condições ambientais devem ser as seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o
cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição.
!
ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante local
da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O TV 301 Navigator é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório
de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não
deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques ou vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma CEE
85/399 para a protecção do meio ambiente.
!
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos
os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar
sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
O TV 301 Navigator não pode ser danificado permanecendo
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
manter a bomba fechada até o momento da instalação no
sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
INSTALAÇÃO
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes
atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em
ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco
de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as
seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no
apêndice “Technical Information”)
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
!
ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.
INSTRUÇÕES DE USO
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O TV 301 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária
(consultar esquema em "Technical Information").
O TV 301 Navigator pode ser instalado em qualquer posição.
Fixar o TV 301 Navigator em posição estável ligando o flange de
entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a
um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada na
câmara de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela a
seguir indica, para todas as dimensões do flange e todos os tipos
de borne, o número de bornes e o torque de aperto necessários.
FLANGE TIPO DE BORNE N TORQUE DE
APERTO
ISO 100 Borne duplo com rosca
M10
4 22 Nm
Borne simples com
rosca M8
8 11 Nm
ISO 160 Borne duplo com rosca
M10
4 22 Nm
Borne simples com
rosca M10
8 22 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada na
câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica
Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical
Information".
NOTA
O TV 301 não pode ser fixado através da sua base.
!
ATENÇÃO!
O TV 301 Navigator pertence à segunda categoria de instalação
(ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue
o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta
categoria.
O TV 301 Navigator tem dois conectores para as entradas/saídas
e para a comunicação de série que devem ser ligados aos
circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob
tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao
TV 301 Navigator esteja isolado correctamente mesmo em caso
de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar "Technical
Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações
eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da
câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser
superior a 120 ºC.
!
PERIGO!
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver ligado à
câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante
as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode
causar lesões às pessoas.
!
ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou
partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser
inferior a 2 bar (acima da pressão atmosférica).
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas
com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à
bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os
rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”).
!
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados
típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases
explosivos.
Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator
Para ligar o TV 301 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O
controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de
interlock e de activação, e acciona a bomba.
O primeiro accionamento da bomba faz-se em “Soft Star” que, no
fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente, portanto,
todos os sucessivos arranques da bomba não serão em “Soft
Start”. Para poder arrancar a bomba em “Soft Start”, será preciso
reactivar o modo acima referido utilizando o software (consultar o
parágrafo “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” no
apêndice “Technical Information”).
A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV 301,
indica, através da frequência de intermitência, as condições
operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em
estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting
for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de erro.
Paragem do TV 301 Navigator
Para parar o TV 301 Navigator é suficiente desligar a tensão de
alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba.
Paragem de Emergência
Para parar o TV 301 Navigator em condições de emergência é
necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.
MANUTENÇÃO
O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as
operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
!
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica,
aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura
superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações
ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher e
enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e Saúde"
anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve
ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação
respeitando as normas nacionais específicas.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
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ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht
nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet
hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen
toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke
nationale wetgeving
De TV 301 Navigator is een geïntegreerd systeem dat uit een
turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge
vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het
systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen,
maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste
deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel
draaiende turbine (max. 56000 toeren/min.) die aangedreven
wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog
rendement. De TV 301 Navigator is volledig vrij van
verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die
een "schoon" vacuüm verlangen.
De TV 301 Navigator is bovendien van hulpconnectors voorzien
waarmee een extra ventilator kan worden gevoed, de
luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en waarmee het
systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand
kan worden bediend (RS 232/RS 485).
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te
verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage
"Technical information
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:
!
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt
op een speciale procedure of methode die, indien niet correct
uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is
gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de
volgende voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet
aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-
Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de
eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
!
ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de
pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie
wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke
vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De TV 301 Navigator wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 301 Navigator niet kan
vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
!
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de
blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of
een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De TV 301 Navigator kan niet beschadigd worden door
eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt
aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.
INSTALLATIE
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten
die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst,
sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met ex-
plosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage
“Technical Information”)
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
!
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
12 87-900-946-01(B)
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie
De TV 301 Navigator moet op een primaire pomp aangesloten zijn
(zie schema in "Technical information").
De TV 301 Navigator kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de TV 301 Navigator in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De
turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden
verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De
volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of klemtype, het
aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze
vastgezet moeten worden.
FLENS KLEMTYPE
NR.
AANHAAL KOPPEL
ISO 100 Dubbele klem met M10
schroefdraad
4 22 Nm
Enkelvoudige klem met
M8 schroefdraad
8 11 Nm
ISO 160 Dubbele klem met M10
schroefdraad
4 22 Nm
Enkelvoudige klem met
M10 schroefdraad
8 22 Nm
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De TV 301 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis
worden bevestigd.
!
ATTENTIE!
De TV 301 Navigator behoort tot de tweede installatiecategorie (of
overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is
voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan
deze categorie voldoet.
De TV 301 Navigator bezit connectoren voor de
ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die
aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen
enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de
inrichting verbonden met de TV 301 Navigator goed geïsoleerd is,
ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm
EN 61010-1.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als
optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot
stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
!
GEVAAR!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer
is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
!
ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders
beschadigd raken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmosferische
druk) bedragen.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom inert
gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
!
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures
worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator
Om de TV 301 Navigator in te schakelen is het voldoende om
deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent
automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en
start de pomp.
De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze “Soft Start”
die, aan het einde van de startcyclus, automatisch ontmachtigd
wordt. Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze “Soft
Start” geschieden. Om opnieuw met “Soft Start” te starten, moet
bovengenoemde wijze met behulp van de software gemachtigd
worden (zie paragraaf “RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”).
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 301
geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van
het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is
in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Afzetten van de TV 301 Navigator
Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken.
De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp.
Noodstop
Om de TV 301 Navigator in noodomstandigheden te stoppen, moet de
stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.
ONDERHOUD
De TV 301 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele
werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden
uitgevoerd.
!
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil
staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen:
zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
BRUGSANVISNING
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GENEREL INFORMATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør
læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra
Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader
helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner,
fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt
anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende
lokale regler.
TV 301 Navigator-systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til
høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed.
Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som helst form for gas
eller gaslignende luftarter, men systemet kan ikke anvendes til
pumpning af væske eller af faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (56000
omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj
effekt. TV 301 Navigator er ikke fremstillet af skadelige stoffer og
er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
TV 301 Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at
forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved
hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS
232/RS 485).
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige
for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med
anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information” indeholder
detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
!
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel
procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter
anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader.
!
VIGTIGT!
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges
nøje for ikke at risikere maskinskader.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
OPBEVARING
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper
fra Varian:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra
forsendelsesdatoen.
!
VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er
det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere
oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian
repræsentant.
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
TV 301 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage.
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på
skader, der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at TV 301 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød
ved udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
!
VIGTIGT!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
BEMÆRK
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 301
Navigator. Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket
kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der
kommer støv i pumpen.
INSTALLATION
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget
“Teknisk Information”)
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter,
skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for
yderligere oplysninger.
TV 301 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet
“Teknisk Information”).
TV 301 Navigator kan installeres i en hvilken som helst position.
Fastgør TV 301 Navigator i en stabil position ved at slutte
turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et
moment på 1000 Nm omkring akselen.
!
VIGTIGT!
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.
BRUGSANVISNING
14 87-900-946-01(B)
Turbopumpen med ISO-indløbsflange skal tilsluttes
vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer.
Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer
samt drejningsmomemt afhængig af flangens størrelse og
klemmetypen.
LANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS-
MOMENT
ISO 100 Dobbelt klemme med
M10 gevind
4 22 Nm
Enkelt klemme med
M8 gevind
8 11 Nm
ISO 160 Dobbelt klemme med
M10 gevind
4 22 Nm
Enkelt klemme med
M10 gevind
8 22 Nm
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.
BEMÆRK
Navigator TV 301 kan ikke fastgøres i fundamentet.
!
VIGTIGT!
TV 301 Navigator hører til den anden installationsklasse (eller
overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor
anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne
klasse.
TV 301 Navigator er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og
til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne
kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de
spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er
tilsluttet TV 301 Navigator, har en passende isolering. Dette
gælder også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN
61010-1.
Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden
anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske
tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af
vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige
120° C.
!
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af
lukkeflangen.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
!
VIGTIGT!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke
indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den
specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk tryk).
I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt
at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at
beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”).
!
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Start og anvendelse af TV 301 Navigator
For at starte TV 301 er det tilstrækkeligt at tilslutte et
forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings-
og startsignaler automatisk, og starter pumpen.
Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START metoden.
Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne funktion
automatisk med hensyn til alle efterfølgende aktiveringer af
pumpen, der vil ske uden SOFT START metoden.
For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte
måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232
“COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Teknisk
Information”).
Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 301’s
fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Stop af TV 301 Navigator
For at afbryde TV 301 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde
strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks
pumpen.
Nødstop
Afbrydelse af TV 301 Navigator i nødsituationer sker ved at koble
ledningen fra styreenheden.
VEDLIGEHOLDELSE
TV 301 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
!
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”,
der udskifter systemet med et repareret system.
BEMÆRK
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian
advanced axchange service” skal “Sikkerheds- og
tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual,
udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets
emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
BRUKSANVISNING
15 87-900-946-01(B)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren
bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från
Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar
för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av
instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig
kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som
strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet TV 301 Navigator bestär av en turbomolekylär pump för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet.
Systemet kan användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet för pumpning av
vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
56000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i TV 301 Navigator, som därför passar för
tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
TV 301 Navigator har dessutom en hjälpkontakt som gör det
möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera
avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-
dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att
garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade
uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
!
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell
procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt
anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.
!
VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal
prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
!
VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Var-
ian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
TV 301 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till
att TV 301 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart
till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
!
VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med
bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar
eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 301
Navigator. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad
tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det
kommer in damm eller annat i den.
INSTALLATION
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical
Information”)
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar. TV 301 Navigator måste anslutas till en huvudpump
(se schemat i "Technical information").
TV 301 Navigator kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm kring sin axel.
!
VIKTIGT !
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska
anslutas till systemet.
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Varian TV 301 Navigator 969-8824 Ohjekirja
- Tyyppi
- Ohjekirja
muilla kielillä
- English: Varian TV 301 Navigator 969-8824 User manual
- svenska: Varian TV 301 Navigator 969-8824 Användarmanual
- português: Varian TV 301 Navigator 969-8824 Manual do usuário
- dansk: Varian TV 301 Navigator 969-8824 Brugermanual
- français: Varian TV 301 Navigator 969-8824 Manuel utilisateur
- español: Varian TV 301 Navigator 969-8824 Manual de usuario
- Nederlands: Varian TV 301 Navigator 969-8824 Handleiding
Aiheeseen liittyviä papereita
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Varian TV 301 Navigator Ohjekirja
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Varian Turbo-V 2000 ICE Instructions For Use Manual
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