Sivu latautuu...
Contents
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 9/270
Klargjøre til installasjon 115
Installasjon 116
Festing av pumpen 117
Bruk 119
Vedlikehold 121
Eliminering 122
10 Ohjekäsikirja 123
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 124
Yleisiä tietoja 125
Varastointi 126
Valmistelut asennusta varten127
Asennus 128
Pumpun kiinnitys 129
Käyttö 131
Huolto 133
Hävittäminen 134
11 Felhasználói Kézikönyv 135
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkho
z 136
Általános információ 137
Tárolás 138
Előkés
zítés telepítésre 139
Telepítés 140
TV 702 SEM User Manual
123/270
10
Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 124
Yleisiä tietoja 125
Varastointi 126
Valmistelut asennusta varten 127
Asennus 128
Pumpun kiinnitys 129
Käyttö 131
TV 702 SEMin käynnistys ja käyttö 132
TV 702 SEMin pysäyttäminen 132
Hätäpysäytys 133
Huolto 133
Hävittäminen 134
Alku
peräisen ohjeiden käännös
10
Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
124/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea
määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta
pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin
koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia
saattaa vapautua.
VAROITUS!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
Ohjekäsikirja
Yleisiä tietoja
10
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 125/270
Yleisiä tietoja
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen
käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut
Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista,
jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta
laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen
käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
TV 702 SEM sarjan turbomolekyylipumput on tarkoitettu korkean ja
ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee
pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei
sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella
(42000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TV 702 SEM -
järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös
"puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
TV 702 SEM -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla
on mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata tuuletusventtiiliä ja
käyttää järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn
isäntätietokoneen avulla (RS 232/RS 485).
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”.
10
Ohjekäsikirja
Varastointi
126/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
VAROITUS!
Vaara-merkinnät saavat käyttäjän huomion kiinnittymään erityisiin
toimintotatapoihin, joiden seuraamatta jättäminen voi aiheuttaa vakavia
henkilövaurioita.
HUOMIO!
Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa
laitteen vaurioitumiseen.
HUOM
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
Varastointi
Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu
toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:
Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia
ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
lämpötila: -20 °C - 70 °C.
suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä).
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-
start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä
ensimmäisen kerran.
Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
Ohjekäsikirja
Valmistelut asennusta varten
10
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 127/270
HUOMIO!
Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle.
Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta.
Valmistelut asennusta varten
TV 702 SEM toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä
on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa
yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 702 SEMin
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei
tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää
kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-direktiiviä 85/399 ympäristön
suojelusta.
HUOMIO!
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule
koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta.
HUOM
TV 702 SEM ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
10
Ohjekäsikirja
Asennus
128/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Kuva 1
Asennus
HUOMIO!
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään
järjestelmään.
Kuva 2
Ohjekäsikirja
Pumpun kiinnitys
10
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 129/270
Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu
kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai
aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai
tulipalovaara.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
lämpötila: + 5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen
kaaviota).
suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical
Information” -liitteestä.
TV 702 SEM tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information”
-liitteen kaaviota).
Pumpun kiinnitys
VAROITUS!
Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa
kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä
momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun
kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai
järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä
olevien laitteiden vaurioita.
Kiinnittäkää TV 702 SEM vakaaseen asentoon asentamalla
turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitoksella,
joka kestää 8600 Nm:n momentin akselinsa ympäri.
Esim. ISO-K-laippa voidaan kiinnittää erittäin kestävillä
teräskiinnikkeillä (esim. malli Agilent IC 63250 DCMZ).
Seuraavassa taulukossa ilmoitetaan jokaiselle laipalle tarvittava IC
63250 DCMZ -kiinnitinmäärä ja niiden kiristysmomentit.
10
Ohjekäsikirja
Pumpun kiinnitys
130/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Tab. 1
LAIPPA MÄÄ-RÄ KIRISTYS- MOMENTTI
ISO 160 K 10 35 Nm
ISO 200 K 8 35 Nm
Turbopumppu sisääntulolaipoilla ISO 160 F tai ISO 200 F tulee
kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten
varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -
liitteestä.
TV 702 SEM voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. TV 702 SEM
toimii parhaalla mahdollisella tavalla silloin, kun se asennetaan
pystyasentoon.
HUOM
TV 702 SEMia ei voida kiinnittää perustansa kautta.
HUOMIO!
TV 702 SEM Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen
asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi
sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 702 SEM laitteissa
on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä
ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan
päästä käsiksi. Varmista, että TV 702 SEM laitteeseen kytketyn laitteen eristys
riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten
edellyttämällä tavalla.
Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista
varten.
Ohjekäsikirja
Käyttö
10
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 131/270
Käyttö
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120 °C:tta.
VAROITUS!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon
tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen
lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa
henkilöiden loukkaantumisia.
HUOMIO!
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä
laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua,
joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee
olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu
aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun
kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso
“Technical Information” -liite).
VAROITUS!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten
kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa
menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
10
Ohjekäsikirja
Käyttö
132/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
TV 702 SEMin käynnistys ja käyttö
TV 702 SEMin käynnistykseen riittää, että valvoja (valinnainen)
kytketään sähköverkkoon, joka tunnistaa automaattisesti lukitus- ja
käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun.
Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” -
menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti käynnistysjakson
jälkeen. Siten pumpun seuraavat käynnistykset tapahtuvat ilman
“Soft Start” -toimintoa. Jotta käynnistys voitaisiin suorittaa
uudelleen “Soft Start” -menetelmällä, tulee yllämainittu tapa
aktivoida uudelleen ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232
VIESTINNÄN KUVAUS” “Technical Information” -liitteessä).
Valvojan etupaneelilla sijaitseva vihreä LED, osoittaa
vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet:
palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-,
jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa;
vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
TV 702 SEMin pysäyttäminen
TV 702 SEMin pysäyttämiseen riittää, että valvoja kytketään irti
sähköverkosta, joka pysäyttää pumpun välittömästi.
VAROITUS!
Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on
tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla
johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien
taulukkoa). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun
pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien vaatimukset
täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia
onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle
suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista.
Ohjekäsikirja
Huolto
10
TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 133/270
Hätäpysäytys
TV 702 SEM on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli
ohjausyksiköstä.
Huolto
TV 702 SEM ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee
jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAROITUS!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti
sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu
venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän
jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Agilentin
korjauspalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun
vahingoittuneen tilalle.
HUOM
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on
ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys” -kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen
kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
10
Ohjekäsikirja
Hävittäminen
134/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)
Hävittäminen
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä
merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen.
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja
hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se
sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin
kaupan sopimusehdot.
/