Turbo-V 2000HT
pumps
969-9084 series
969-9059 series
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-969-01
MAY 2003
Turbo-V 2000HT
ISTRUZIONI PER L’USO ....................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................. 3
MODE D’EMPLOI................................................................................................................5
INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................7
INSTRUÇÕES PARA O USO..............................................................................................9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN.............................................................................................11
BRUGSANVISNING ..........................................................................................................13
BRUKSANVISNING ..........................................................................................................15
BRUKERVEILEDNING...................................................................................................... 17
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19
PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21
INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23
TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................25
DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ......................................................................................25
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................28
WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................28
VENT DEVICE INSTALLATION...................................................................................................30
VENT VALVE INSTALLATION ....................................................................................................30
GAS PURGE VALVE INSTALLATION.........................................................................................31
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES..................................................................................31
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM .....................................................................................................32
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .........................................................................32
Connection B - FORE-VACUUM PUMP ............................................................................33
Connection C - ELECTRICAL............................................................................................33
MOVING THE GAS PURGE VALVE AND FOREVACUUM PUMP CONNECTIONS .................34
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS...............................................................34
ACCESSORIES ...........................................................................................................................34
ISTRUZIONI PER L’USO
1 87-900-969-01
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizza-
tore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed
ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'uti-
lizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali
responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istru-
zioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad
interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali
specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V2000HT sono pompe turbomolecolari
per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qual-
siasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il
pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (33000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V2000HT sono totalmente
prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni
che richiedono un vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessa-
rie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'appa-
recchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice
“Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!
!!
!
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!
!!
!
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che,
se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le se-
guenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento del-
le pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare
è di 10 mesi dalla data di spedizione.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superio-
re, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si
prega di contattare il locale rappresentante della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si pre-
sentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare atten-
zione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o
vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamen-
te riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela del-
l'ambiente.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani
nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare
sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice-
mente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mante-
nerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde
evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
!
!!
!
PERICOLO!
La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata
tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento.
All’uopo utilizzare gli appositi golfari da avvitare nei fori filettati
M8 praticati sull’involucro della pompa.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento
del collegamento della turbopompa al sistema.
ISTRUZIONI PER L’USO
2 87-900-969-01
Assicurarsi che la pompa sia adatta per la propria applicazione.
La pompa è stata progettata per uso in sistemi di pompaggio
per PVD o generalmente per applicazioni in cui si richieda un
vuoto "pulito". Contattare Varian Vacuum Technologies o il vo-
stro fornitore per altre applicazioni.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Te-
chnical Information" per ulteriori dettagli.
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V2000HT devono
essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian
(serie 969-9462, 969-9562) e devono essere collegate ad una
pompa primaria (vedere schema in "Technical Information").
La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione.
!
!!
!
PERICOLO!
Il livello di potenza fornito alla pompa va adattato al tipo di gas
pompato. Agendo attraverso il controller (vedere il manuale del
controller) è possibile selezionare ARIA o ARGON (default:
ARGON). Per utilizzare la pompa con gas diversi si prega di
contattare la Varian.
Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 30000 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISOF deve essere fissa-
ta alla camera da vuoto per mezzo di 12 viti M10 di acciaio di
classe non inferiore a 8.8 (
s
r
= 800 N/mm
2
). Si suggerisce una
coppia di chiusura di 22 Nm.
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te-
chnical Information".
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa
sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere atten-
tamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori
pressioni limite è possibile riscaldare l'involucro della pompa uti-
lizzando il riscaldatore opzionale. Durante l'eventuale riscalda-
mento della camera da vuoto, le temperature della flangia di
ingresso e del rotore non devono essere superiori a 120 °C. Uti-
lizzare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni
di riscaldamento.
!
!!
!
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-
sare lesioni alle persone.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso
attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopom-
pa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
!
!!
!
ATTENZIONE!
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-
gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
!
!!
!
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-
sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas
esplosivi.
MANUTENZIONE
Le pompe della serie Turbo-V2000HT non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
!
!!
!
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa
scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la
pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo
arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale
della pompa sia inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-
ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-
mette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di
quella guasta.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advan-
ced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al
locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al pre-
sente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita
nell'imballo della pompa prima della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-
che.
!
!!
!
PERICOLO!
Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun
motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della
turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione
(opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazio-
ni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca
d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base.
NO!
GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-969-01
ALLGEMEINES
Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte
der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten
Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung -auch
teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und
Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden
Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.
Bei den Pumpen der Serie Turbo-V2000HT handelt es sich um
Turbomolekularpumpen für Hoch- und
Ultrahochvakuumanwendungen. Sie eignen sich zur Förderung von
jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur
Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.
Die Pumpwirkung wird durch eine
Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 33000 U/Min) erreicht, die
von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die
Turbo-V2000HT -Pumpen enthalten keinerlei umweltschädliche
Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke,
die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
!
!!
!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners
auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter
Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.
!
!!
!
ACHTUNG
!
Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den
Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an
der Anlage entstehen können.
ANMERKUNG
Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der
Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte
nicht überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang
bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start
ingangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!
!!
!
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte
Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den
örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen
Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt
oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist
vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für
Umweltschutz.
!
!!
!
ACHTUNG
!
Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten,
die in Berührung mit dem Vakuum kommen, nicht mit bloßen
Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen
geeigneten Schutz tragen.
ANMERKUNG
Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre
ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis
zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um
Staubverschmutzungen zu vermeiden.
INSTALLATION
!
!!
!
GEFAHR!
Aufgrund ihres Gewichtes darf die Pumpe nur mit
entsprechend geeigneten Geräten angehoben und transportiert
werden. Zu diesem Zweck sind die dafür vorgesehenen
Ringschrauben zu verwenden, die in die Gewindebohrungen
M8 am Pumpengehäuse einzuschrauben sind.
!
!!
!
ACHTUNG
!
Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim
Anschluß der Turbopumpe an die Anlage
.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-969-01
Überprüfen, dass die Pumpe für die betreffende Anwendung
geeignet ist. Die Pumpe wurde für den Gebrauch in PVD-
Pumpsystemen und im Allgemeinen für Anwendungen, bei de-
nen ein “sauberes” Vakuum erforderlich ist, konzipiert. Für an-
derweitige Anwendungen ist mit Varian Vacuum Technologies
oder mit Ihrem Lieferanten Rücksprache zu halten.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die un-
geschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und ag-
gressiven Gasen sind, und in denen Explosions- und erhöhte
Brandgefahr besteht.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend)
Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz
eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden.
Weitere Hinweise: siehe Anhang "Technical Information”.
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V2000HT dürfen nur
mit einer der Varian-Spezial-Controller (Serie 969-9462, 969-
9562) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe ange-
schlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die
Turbopumpen können in jeder Position installiert werden.
!
GEFAHR!
Die von der Pumpe gelieferte Leistungsstärke ist an den zu
pumpenden Gastyp anzupassen. Über den Controller (siehe
Betriebsanleitung des Controllers) kann LUFT oder ARGON
(Default: ARGON) ausgewählt werden. Für die Verwendung der
Pumpe mit anderweitigen Gasen ist mit Varian Rücksprache zu
halten.
Installieren Sie die Pumpe in einer stabilen Position, indem Sie
den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Ge-
genflansch anschließen, der ein Drehmoment von 30000 Nm
um seine eigene Achse aushält.
Die Turbopumpe mit ISOF Eintrittsflansch ist an der Vakuum-
kammer mit 12 Schrauben M10 aus Stahl mind. Klasse 8.8
(
s
r
= 800 N/mm
2
) zu befestigen. Es wird ein Schließmoment
von 22 Nm empfohlen.
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch müssen mit dem
speziellen Varian- Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise: siehe Anhang
"Technical Information".
Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information“.
ANWENDUNG
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpen-
gehäuse mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt wer-
den. Während der eventuellen Erwärmung der Vakuumkammer
darf die Temperatur des Eingangsflanschs und des Rotors
120°C nicht überschreiten. Vakuumsystemen die TP mit Was-
serkühlung arbeiten.
!
GEFAHR!
Während des Ausheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Anschlußteile berührt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
! ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphäri-
schen Druck sein.
! ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
! ACHTUNG!
Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit ei-
ner Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der La-
ger ausschließlich Edelgas (Stickstoff oder Argon) zugeführt
werden darf (siehe Anhang "Technical Information").
!
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, müssen die für
das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnah-
men befolgt werden.
Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven
Gasen.
WARTUNG
Die Pumpen der Serie Turbo-V2000HT sind wartungsfrei. E-
ventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgeführt werden.
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur
am Pumpenghehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der "Varian ad-
vanced exchange service" in Anspruch genommen werden.
ANMERKUNG
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an Varian geschickt und bestätigt wer-
den. Eine Kopie muß den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der ein-
schlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen.
!
GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschließen, darf auf auf keinen Fall
in die Einlaßöffnung der Turbopumpe gegriffen oder ir-
gendwelche Gegenstände eingeführt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehör). Bei
Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines fle-
xiblen Metallbalges auf der Einlaßöffnung muß die Turbo-
pumpe immer am Unterteil fest installiert.
NEIN!
MODE D’EMPLOI
5 87-900-969-01
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire
attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser
l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité
en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions
données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non
formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V2000HT sont des pompes
turbomoléculaires conçues pour des applications de vide
poussé et ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le
pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé
gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de
liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à
vitesse élevée (33000 tr/min maxi), actionnée par un moteur
électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-
V2000HT sont totalement exemptes d'agents polluants et sont
par conséquent indiquées pour des applications exigeant un
vide "propre".
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
!
!!
!
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur
sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle
n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de
graves lésions.
!
!!
!
ATTENTION !
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient
endommager sérieusement l'appareillage.
NOTA
Les notes contiennent des renseignements importants,
isolés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de
respecter les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes:
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
!
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial;
si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être
produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de
vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage,
veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe
et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration.
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE
85/399 en matière de protection de l'environnement.
!
!!
!
ATTENTION !
En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas
toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés
au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection
appropriée.
NOTE
La pompe ne peut être endommagée en restant simplement
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la
garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière.
INSTALLATION
!
!!
!
DANGER!
Compte tenu de son poids, la pompe doit toujours être maniée
à l'aide d'appareils de levage et de manutention spéciaux. Si
nécessaire, utiliser les anneaux de levage après les avoir
préalablement vissés dans les orifices filetés M8 pratiqués sur
le corps de la pompe.
!
!!
!
ATTENTION!
Ne retirer le ruban adhesiv et le couvercle de protection
qu’au moment du branchement de la turbopompe au
systéme.
MODE D’EMPLOI
6 87-900-969-01
Assurez-vous que la pompe est adaptée à l'application à la-
quelle vous la destinez. La pompe a été conçue pour être utili-
sée dans des systèmes de pompage pour PVD ou d'une façon
plus générale pour des applications impliquant un vide "propre".
Pour toute autre application, veuillez contacter Varian Vacuum
Technologies ou votre fournisseur habituel.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-
sés à des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des
poussières, à des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou à risque élevé d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-
tégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se
reporter à l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V2000HT ne
doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Va-
rian (série 969-9462, 969-9562) et elles doivent être connec-
tées à une pompe primaire (voir schéma dans "Technical
Information").
La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position.
!
DANGER!
Le niveau de puissance fourni à la pompe doit être adapté au
type de gaz pompé. Le contrôleur (voir manuel correspondant)
permet de sélectionner AIR ou ARGON (par défaut : ARGON).
Pour l'utilisation de la pompe avec des gaz différents, veuillez
contacter Varian.
Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant sup-
porter un couple de 30000 Nm autour de son axe.
La turbo pompe avec collerette d’entrée ISOF doit être fixée à
la chambre à vide à l’aide de 12 vis M10 en acier d’une classe
de résistance minimum de 8.8 (
s
r
= 800 N/mm
2
). Il est conseillé
de serrer à un couple de 22 Nm.
La turbopompe à bride d'entrée Conflat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré-
vus à cet effet. Pour tous autres détails, se reporter à l'appen-
dice "Technical Information".
Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical
Information".
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la tur-
bopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il
est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la
pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauf-
feur optionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre du
vide, la température de la bride d'entrée et celle du rotor ne
doivent pas dépasser 120°C. Utiliser toujours le refroidissement
par eau pendant les opérations de chauffage.
!
DANGER!
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut causer des lésions aux personnes.
! ATTENTION !
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar au-delà de la pression atmosphérique.
! ATTENTION !
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation
ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-
rer.
! ATTENTION !
Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir
à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger
les coussinets (voir l'appendice "Technical Information").
!
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-
ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-
ques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de
gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la série Turbo-V2000HT n'exigent aucun autre
entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel
agréé.
!
DANGER!
Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, dé-
brancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la
soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du
rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe
soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place
de la pompe endommagée.
NOTE
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des répara-
tions ou un "advanced exchange service", remplir et faire par-
venir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé"
annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'ex-
pédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales en la matière.
!
DANGER!
Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais
introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet
dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser le
filet de protection fourni en option. En cas d’utilisation d’un
amortisseur de vibrations ou d’un soufflet métallique flexible
sur la bouche d’entrée, toujours bien fixer la turbopompe à sa
base.
NON!
INSTRUCCIONES DE USO
7 87-900-969-01
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario
deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y
cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes
de utilizar el equipo. Varian se considera libre de cualquier
responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las
instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin
adiestrar, a las intervenciones no autorizadas o al uso que no
cumpla con las normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo-V2000HT son bombas
turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y
pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso.
No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene a través de una turbina que gira a
gran velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico
trifásico de grandes prestaciones. En las bombas Turbo-V2000HT
no hay agentes contaminantes y, por lo tanto, son apropiadas
incluso para las aplicaciones que necesitan un vacío "limpio".
En los párrafos siguientes se indica toda la información necesaria
para garantizar la seguridad del operador durante el uso del equipo.
Una información más detallada se facilita en el Suplemento
"Technical Information".
Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes:
!
!!
!
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una operación específica que, al no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
!
!!
!
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos
que, al no respetarse, podrían provocar daños al equipo.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las
bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares
en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en
funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío
al cliente.
!
!!
!
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al
fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega con-
tactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
La bomba se suministra en un embalaje de protección dimensional;
si se observan señales de daños, que podrían haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina de venta
más cercana.
Durante la operación de desembalaje, prestar una atención
especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes.
No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es
totalmente reciclable y se ajusta a la directiva CEE 85/399 para la
preservación del medio ambiente.
!
!!
!
¡ATENCIÓN!
Para evitar la degasificación, no tocar con las manos sin guantes
los componentes destinados a someterse al vacío. Utilizar siempre
los guantes u otra protección apropiada.
NOTA
La bomba no se puede dañar sólo por quedar expuesta a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada
hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar
una posible contaminación debida al polvo.
INSTALACIÓN
!
!!
!
¡PELIGRO!
La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante
herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas.
Para este fin se utilizan las respectivas armellas, que deben
ser atornilladas en los agujeros roscados M8 presentes en la
cubierta de la bomba.
!
!!
!
¡ATENCIÓN!
Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en
el momento en que se conecte la turbobomba al sistema.
INSTRUCCIONES DE USO
8 87-900-969-01
Verificar que la bomba sea adecuada para el uso que de ella
se desea hacer. La bomba ha sido proyectada para empleo en
sistemas de bombeo para PVD o para aplicaciones en las que
generalmente se requiere un vacío “limpio”. Respecto de otras
aplicaciones sírvase contactar con Varian Vacuum
Technologies o con su proveedor.
No instalar ni utilizar la bomba en ambientes expuestos a agentes
atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos, en
ambientes explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es preciso que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bar por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5°C a + 35°C
- humedad relativa: 0 - 95% (no condensadora).
Cuando hay campos electromagnéticos la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el apéndice
“Technical Information” para más detalles.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V2000HT se
deberán utilizar sólo con uno de los controladores apropiados
Varian (serie 969-9462, 969-9562) y se deberán acoplar a una
bomba primaria (véase esquema en "Technical Information".
La turbobomba se puede instalar en cualquier posición.
!
!!
!
¡PELIGRO!
El nivel de potencia suministrado a la bomba debe ser
predispuesto en función del tipo de gas bombeado. Operando
mediante el controller (véase el manual del controller) es
posible seleccionar AIRE o ARGON (por defecto: ARGON).
Para utilizar la bomba con otros tipos de gases sírvase
contactar previamente con Varian.
Fijar la turbobomba en posición estable acoplando la brida de
entrada de la turbobomba a una falsa brida fija que pueda
soportar un par de 30000 Nm alrededor de su eje
La turbobomba con brida de entrada ISOF debe ser fijada a la
cámara de vacío mediante 12 tornillos M10 de acero de clase
no inferior a 8.8 (
s
r
= 800 N/mm
2
). Se sugiere aplicar un par de
apriete de 22 Nm.
La turbobomba con brida de entrada ConFiat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante accesorios mecánicos Varian. Para
más detalles véase el apéndice “Technical Information”.
Para la instalación de los opcionales, véase “Technical
Information”.
UTILIZACIÓN
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones límite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el eventual calentamiento de la cámara de vacío, la
temperatura de la brida de entrada y del rotor no debe superar
nunca 120 ºC. Utilizar siempre la refrigeración por agua
durante las operaciones de calentamiento.
!
!!
!
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante
las operaciones de calentamiento. La alta temperatura
puede provocar lesiones a las personas.
!
!!
!
¡ATENCIÓN!
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
apropiada deberá ser inferior a 2 bar por encima de la presión
atmosférica.
!
!!
!
¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
!
!!
!
¡ATENCIÓN!
Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas
de una puerta específica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o
Argón) para proteger los rodamientos (véase el apéndice
“Technical Information”).
!
!!
!
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V2000HT no necesitan ningún
mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada
por personal autorizado.
!
!!
!
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba
abriendo la válvula apropiada y esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la bomba esté por debajo de 50
ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas más cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminación respetando las normas nacionales específicas.
!
!!
!
¡PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protección (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.
NO!
INSTRUÇÕES PARA O USO
9 87-900-969-01
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra
informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual
inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido
por parte de pessoas não treinadas, por operações não
autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
As bombas da série Turbo-V2000HT são bombas
turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e
são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto
gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou
partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (33000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico de três fases de alto rendimento. As bombas Turbo-
V2000HT são totalmente sem agentes contaminadores e,
portanto, são adequadas para aplicações que requerem um
vácuo "limpo".
Nos parágrafos seguintes estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do técnico durante o uso da
aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice
"Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
!
!!
!
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do técnico para um
procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada
correctamente, poderia provocar graves lesões pessoais.
!
!!
!
ATENÇÃO
!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não observados, poderiam causar danos à
aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das
bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as
seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das
bombas as condições ambientais devem ser as seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o
cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição.
!
ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for supe-
rior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante.
Para mais informações, contatar o representante local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se
apresentarem sinais de danos, que poderiam verificar-se
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de
vendas local.
Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair a bomba e não submetê-la a colisões ou
vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399
para a protecção do meio ambiente.
!
!!
!
ATENÇÃO
!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos
os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre
luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
A bomba não pode ser danificada permanecendo
simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema
para evitar que se suje com poeiras.
INSTALAÇÃO
!
!!
!
PERIGO!
A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando
ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. Se
for preciso, utilizar os pinos de olhal a aparafusar nos furos
com rosca M8 posicionados na embalagem da bomba.
!
!!
!
ATENÇÃO
!
Remover o adesivo e retirar o tampão de protecção só no
momento da ligação da turbobomba ao sistema
.
INSTRUÇÕES PARA O USO
10 87-900-969-01
Assegure-se de que a bomba é idónea para o tipo de
aplicação desejado. A bomba foi concebida para o uso em
sistema de bombeamento para PVD ou, em geral, para
aplicações que necessitam de vácuo “limpo”. Para quaisquer
outros tipos de aplicação, contacte a Varian Vacuum
Technologies ou o seu fornecedor de confiança.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da série Turbo-V2000HT devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
específicos (série 969-9462, 969-9562) e devem ser ligadas a
uma bomba primária (ver esquema em "Technical
Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posição.
!
!!
!
PERIGO!
O nível de potência fornecido à bomba deve ser o indicado
para o tipo de gás aspirado. Operando com o controller (con-
sultar o manual do controller) é possível seleccionar AR ou
ARGON (pré-definido: ARGON). Para utilizar a bomba com
outros tipos de gases, consultar a Varian.
Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de
entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de
resistir a um torque de 30000 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISOF deve ser fixada à
câmara de vácuo através de 12 parafusos M10 de aço, classe
não inferior a 8,8 (
s
r
= 800 N/mm
2
). Aconselhamos um torque
de aperto de 22 Nm.
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada
à câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para maiores detalhes, ver o apêndice
"Technical Information".
Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical
Information”.
UTILIZAÇÃO
Todas as instruções para o correcto funcionamento da
turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilização.
Para atingir melhores pressões limite é possível aquecer o
invólucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a
fase de aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura da
flange de entrada e do rotor não deve ultrapassar 120 °C.
Utilizar sempre o resfriamento com água durante as operações
de aquecimento.
!
!!
!
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
!
!!
!
ATENÇÃO
!
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão
atmosférica).
!
!!
!
ATENÇÃO
!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
!
!!
!
ATENÇÃO
!
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apêndice "Technical
Information").
!
!!
!
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
MANUTENÇÃO
As bombas da série Turbo-V2000HT não requerem qualquer
manutenção. Qualquer operação deve ser efectuada por
pessoal autorizado.
!
!!
!
PERIGO!
Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o
conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a
válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e
até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.
NOTA
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparações ou
advanced exchange service, é indispensável preencher e
enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
!
!!
!
PERIGO!
Para evitar lesões à pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção
(opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou
um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba à base.
NÃO
!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
11 87-900-969-01
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen
alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich
niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk
in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn turbomoleculaire
pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in
staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn
niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De
Turbo-V2000HT pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen
en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon"
vacuüm verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information".
Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:
!
!!
!
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!
!!
!
ATTENTIE
!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen
moet aan de volgende omgevingscondities worden
voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
!
!!
!
ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of
stoten te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
!
!!
!
ATTENTIE
!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet
met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden
om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het
systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof
wordt voorkomen.
INSTALLATIE
!
!!
!
GEVAAR!
De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hef-
en vervoerswerktuigen verplaatst worden.
Gebruik voor dit doel de specifieke hijsogen die in de M8
schroefdraadopeningen in het pompomhulsel geschroefd
moeten worden.
!
!!
!
ATTENTIE
!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
12 87-900-969-01
Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De
pomp is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of in
het algemeen voor toepassingen waarvoor een “schoon” vacuüm is
vereist. Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of uw
leverancier voor andere toepassingen.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn:
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De turbomoleculaire pompen van de serie V2000HT mogen
alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale
Varian controllers (serie 969-9462, 969-9562) en moeten
aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in
"Technical information").
De turbopomp kan in alle standen worden geïnstalleerd.
!
!!
!
GEVAAR!
Het aan de pomp geleverde krachtniveau moet aangepast
worden aan het gepompte gastype. Het is mogelijk om met
behulp van de controller (zie de handleiding van de controller)
LUCHT of ARGON te kiezen (default: ARGON). Neemt u a.u.b.
contact op met Varian als u andere gastypes wilt gebruiken.
Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 30000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISOF ingangsflens moet bevestigd worden
aan de vacuümkamer met behulp van 12 M10 stalen bouten
met een sterkteklassse van niet minder dan 8.8 (
s
r
= 800
N/mm
2
). Men adviseert een aanhaalkoppel van 22 Nm.
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor
meer informatie de bijlage "Technical information".
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn
in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig
deze handleiding vóór ingebruikname door. Om een betere
grensdruk te bereiken, kan het pomphuis verwarmd worden met
behulp van een optionele verwarmingsunit. Tijdens het eventuele
verwarmen van de vacuümkamer, mag de temperatuur van de
ingangsflens en de rotor niet meer dan 120 °C bedragen. Pas
tijdens het verwarmen altijd waterkoeling toe.
!
!!
!
GEVAAR!
Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen
aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken.
!
!!
!
ATTENTIE
!
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmsoferische druk) bedragen.
!
!!
!
ATTENTIE
!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
!
!!
!
ATTENTIE
!
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen
van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een
stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de
lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information").
!
!!
!
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare,
giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden
gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de
pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
ONDERHOUD
De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn onderhoudsvrij.
Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel
worden uitgevoerd.
!
!!
!
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder
een temperatuur van 50 °C is gezakt .
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart
"Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het
plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van
deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking
worden gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
!
!!
!
GEVAAR!
Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen
enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening
van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik van
het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of
een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt
aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen.
NEE
!
BRUGSANVISNING
13 87-900-969-01
GENEREL INFORMATION
Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning,
Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke
ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun
er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af
ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb
på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast
til det pågældende lands særlige normer.
Turbo-V2000HT serien omfatter turbomolekulære pumper til
højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at
pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke
egnet til at pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved
høj hastighed (max. 33000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv
trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000HT pumperne er
fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god
anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum.
I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for
operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede
oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information ".
I denne håndbog findes følgende regler:
!
!!
!
ADVARSEL!
Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et
indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare
for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt.
!
!!
!
VIGTIGT !
Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal
overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret.
BEMÆRK
Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger.
OPBEVARING
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære
pumper fra Varian:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
!
!!
!
VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yder-
ligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian
repræsentant.
FORBEREDELSE TIL MONTERING
Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage.
Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på
beskadigelse, der kan være sket under transporten.
Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til
den under udpakningen.
Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er
genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet
85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse.
!
!!
!
VIGTIGT !
For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de
bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid
handsker eller anden passende beskyttelse.
BEMÆRK
Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den
atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales
det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i
anlægget.
MONTERING
!
!!
!
ADVARSEL!
Grundet dens vægt må pumpen kun håndteres ved hjælp af
dertil bestemt løfte- og flytningsudstyr. I forbindelse med løft
anvendes øjeboltene, der fastspændes i de gevindskårne
huller M8 på pumpens beklædning.
!
!!
!
VIGTIGT !
Tapen og beskyttelsesproppen må først fjernes, når
turbopumpen sluttes til systemet.
BRUGSANVISNING
14 87-900-969-01
Kontrollér, at pumpen er egnet til den konkrete brug. Pumpen
er projekteret til brug i pumpesystemer til PVD eller generelt til
anvendelse, der kræver et "rent" vakuum. Kontakt Varian
Vacuum Technologies eller forhandleren, hvis pumpen skal
benyttes til andre former for brug.
Pumpen må ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller
stor brandfare.
Følgende betingelser skal overholdes under driften:
- maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag
“Technical Information” for yderligere detaljer.
Turbomolekulærpumperne i Turbo-V2000HT serien må kun
anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie
969-9462, 969-9562) og skal forbindes med en primær pumpe
(se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling.
!
!!
!
ADVARSEL!
Pumpens effektniveau skal tilpasses i forhold til den pumpede
gastype. Ved at benytte styreenheden (se brugsanvisningen for
styreenheden) er det muligt at vælge LUFT eller ARGON
(standardindstilling: ARGON). Kontakt venligst Varian, hvis
pumpen skal benyttes til andre gastyper.
Den fastspændes ved, at turbopumpens indgangsflange
fastgøres til en fast modflange, der er i stand til at modstå et
drejningsmoment på 30000 Nm omkring aksen.
Turbopumpen med ISOF indgangsflange skal monteres på va-
kuumkammeret ved hjælp af 12 M10 stålskruer (min. styrkek-
lasse 8,8 (σ
r
= 800 N/mm
2
)). Anbefalet tilspændingsmoment:
22 Nm.
Turbopumpen med indløbsflange ConFlat skal fastspændes til
vakuumkammeret ved hjælp af de specielle fastgørelsesdele
fra Varian. For detaljer henvises til ”Technical Information”.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er
beskrevet i håndbogen til kontrolenheden.
Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen.
For at opnå bedre grænsetryk kan pumpebeklædningen
opvarmes. I forbindelse med eventuel opvarmning af
vakuumkammeret må temperaturen for indgangsflangen og
rotoren ikke overskride 120° C. Brug altid vandafkøling under
opvarmningen.
!
!!
!
ADVARSEL!
Rør ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbehør under
opvarmningsmanøvrerne. Den høje temperatur kan forårsage
kvæstelser på personer.
!
!!
!
VIGTIGT!
Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der
er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige
åbning skal være under 2 bar.
!
!!
!
VIGTIGT!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
!
!!
!
VIGTIGT!
Til pumpning af ætsende luftarter er disse pumper forsynet
med en særlig åbning, hvortil den passive luftart (argon eller
kvælstof) skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget
“Technical Information”).
!
!!
!
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af Turbo-V2000HT typen behøver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
!
!!
!
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen,
skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen
ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er
standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end
50°C.
Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange
Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for
den, der er gået i stykker.
BEMÆRK
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller
til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den
til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges
i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå i
overensstemmelse med det pågældende lands særlige love.
!
!!
!
ADVARSEL!
For at undgå personskader må fingre eller andre
genstande aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen.
Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional).
Såfremt der anvendes en befugter eller en blæsebælg af
metal på indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til
basen.
NEJ!
BRUKSANVISNING
15 87-900-969-01
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V2000HT-serien är turbomolekylära pumpar
för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan
användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller
fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
33000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V2000HT -seriens pumpar, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
!
!!
!
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras
exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
!
!!
!
VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre-
standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader
från leveransdatumet.
!
!!
!
VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på
skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
!
!!
!
VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
!
!!
!
VARNING!
Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp
av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det
behövs i öglebultarna i de gängade hålen M6 på pumpens
hölje.
!
!!
!
VIKTIGT !
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska
anslutas till systemet.
Kontrollera att pumpen är lämplig för dess
användningsområde. Pumpen är konstruerad för användning i
pumpsystem för PVD eller vanliga användningsområden som
kräver ett "rent" vakuum. Kontakta Varian Vacuum
Technologies eller din leverantör om pumpen ska användas för
andra ändamål.
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
Sivu latautuu ...
-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13
-
14
-
15
-
16
-
17
-
18
-
19
-
20
-
21
-
22
-
23
-
24
-
25
-
26
-
27
-
28
-
29
-
30
-
31
-
32
-
33
-
34
-
35
-
36
-
37
-
38
-
39
-
40
-
41
-
42
muilla kielillä
- English: Varian Turbo-V 2000 HT User manual
- svenska: Varian Turbo-V 2000 HT Användarmanual
- italiano: Varian Turbo-V 2000 HT Manuale utente
- Deutsch: Varian Turbo-V 2000 HT Benutzerhandbuch
- português: Varian Turbo-V 2000 HT Manual do usuário
- dansk: Varian Turbo-V 2000 HT Brugermanual
- français: Varian Turbo-V 2000 HT Manuel utilisateur
- español: Varian Turbo-V 2000 HT Manual de usuario
- Nederlands: Varian Turbo-V 2000 HT Handleiding
Liittyvät paperit
-
Varian 969-9048 series Ohjekirja
-
Varian Turbo-V 2000 ICE Instructions For Use Manual
-
-
Varian 969-8901 Ohjekirja
-
-
-
-
-
-
